西田 哲

西田 哲

【所属】
岐阜大学工学部
【役職】
准教授

担当科目

薄膜工学特論
科目開催場所 工学研究科(博士課程)
開講時期 前学期
科目の概要 様々な分野に使用される薄膜作製技術について、気相堆積法を中心に講義を行う。関連するプラズマ、真空についても講義を行う。
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エネルギー変換プロセス工学
科目開催場所 自然科学技術研究科
開講時期 後学期
科目の概要 様々な分野に使用される薄膜作製技術、特に気相成長法について講義を行う。関連分野である、真空工学やプラズマ工学についても扱う。
シラバス

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